Cestovní rozsah
20 mm
Rozlišení
0,125 μm
Opakovatelnost
＜1 μm
Přímost
＜2 μm
Rovnoběžnost
＜5 μm
Pitching
10″(50 μrad)
vybočování
Maximální rychlost
5 mm/sec
Nosnost
10 kg
Hmotnost
1,5 kg
